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发布:2024/4/30 9:22:27 来源:kaitezhang
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该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。电子束曝光技术可直接刻画精细的图案,是实验室微小纳米电子元件的选择。这款耗资数百万美元的曝光系统将在澳大利亚亮相,并有能力以很高的速度和精度制出超高分辨率的纳米图形。该系统将被放置在即将完工的墨尔本纳米中心(MCN)内,并将于明年3月正式揭幕。MCN的临时负责人阿彼得凯恩博士表示,该设备将帮助科学家和工程师发展下一代微技术,在面积小于1纳米的物体表面上实现文字和符号的书写和蚀刻。

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